クォーツチューブ型マイクロ波プラズマCVD装置

先端放電型マイクロ波プラズマCVD装置

高精度マイクロ波プラズマCVD装置

ホール効果測定装置

高真空反射高速電子線回折装置

極低温カソードルミネッセンス分光分析装置

抵抗加熱蒸着装置

収束電子線MBE装置

環境制御型原子間力顕微鏡

極低温測定用プローブシステム

高温測定用プローブステーション

ネットワークアナライザおよび高周波測定用プローブシステム

高性能加湿装置

高純度半導体ガス供給管理システム

高精度電子線描画装置

ラマン装置

単結晶高純度ダイヤモンド成膜装置

表面安定化成膜装置

ラマン装置　(RENISHAW製 )：

He-Ne レーザー(633nm)
Arレーザー(514.5nm)
を搭載しており光学顕微鏡と合体した顕微ラマンである。
低波数(50 [ /cm ] )から測定することができ、主にダイヤモンドやカーボンナノチューブの結晶性評価を行っています。