WASEDA UNIVERSITY
              
 
 
 

クォーツチューブ型マイクロ波プラズマCVD装置

先端放電型マイクロ波プラズマCVD装置

高精度マイクロ波プラズマCVD装置

ホール効果測定装置

高真空反射高速電子線回折装置

極低温カソードルミネッセンス分光分析装置

抵抗加熱蒸着装置

収束電子線MBE装置

環境制御型原子間力顕微鏡

極低温測定用プローブシステム

高温測定用プローブステーション

ネットワークアナライザおよび高周波測定用プローブシステム

高性能加湿装置

高純度半導体ガス供給管理システム

高精度電子線描画装置

ラマン装置

単結晶高純度ダイヤモンド成膜装置

表面安定化成膜装置

   

単結晶高純度ダイヤモンド成膜装置:

球型共振機および先端放電の組み合わせにより、高純度なダイヤモンドを成膜できる装置。
ロードロック方式とマルチチャンバーにより、容易な試料搬送そして超格子や多層膜などを再現よく合成することが可能。